特許

J-GLOBAL ID：200903021181131945

酸化膜厚さ測定方法および装置

発明者： 浅野 鐵夫
出願人/特許権者： 日本テクノプラス株式会社
代理人 (3件)： 阿仁屋 節雄 ,  油井 透 ,  清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-193473
公開番号（公開出願番号）：特開2007-010543
出願日： 2005年07月01日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】被測定物の表面に付着した酸化膜の厚さを超音波共鳴によって簡単かつ高精度に測定することを可能にする。【解決手段】被測定物10の表面に付着した酸化膜12の厚さを超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定するに際し、被測定物10の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定し、n(任意整数)次共鳴周波数とn+1次共鳴周波数の差の逆数にn次共鳴周波数を乗じる演算式により見かけの共鳴次数nxを算出する。この見かけの共鳴次数nxと整数の共鳴次数nとのずれを等価位相ψとし、この等価位相ψの周波数に対する傾きkをあらかじめ用意した検量データと照合させることにより酸化膜の厚さhを決定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定物の表面に付着した酸化膜の厚さを、その被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数スペクトルに基づいて測定する酸化膜厚さ測定方法であって、次の処理工程を特徴とする酸化膜厚さ測定方法。 (1)被測定物の厚さ方向における超音波共鳴周波数を2以上の共鳴次数で測定する。 (2)n(任意整数)次共鳴周波数とn+1次共鳴周波数の差の逆数にn次共鳴周波数を乗じる演算式により見かけの共鳴次数nxを算出し、この見かけの共鳴次数nxと整数の共鳴次数nとのずれを等価位相ψとする。 (3)上記等価位相ψの周波数に対する傾きkを算出する。 (4)上記傾きkとあらかじめ用意した検量データとの照合により酸化膜の厚さhを決定する。

IPC (2件)：

G01B 17/02 ,  G01N 29/12

FI (2件)：

G01B17/02 A ,  G01N29/12

Fターム (21件)：

2F068AA28 ,  2F068BB15 ,  2F068BB22 ,  2F068CC09 ,  2F068DD12 ,  2F068EE07 ,  2F068FF23 ,  2F068FF28 ,  2F068KK12 ,  2F068QQ15 ,  2F068QQ45 ,  2G047AA06 ,  2G047AC12 ,  2G047BA04 ,  2G047BC11 ,  2G047BC18 ,  2G047CA01 ,  2G047CA02 ,  2G047EA10 ,  2G047EA14 ,  2G047GG12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 酸化膜厚測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-180129   出願人：住友金属テクノロジー株式会社