特許
J-GLOBAL ID：200903021191013975
冷却放電プラズマによるガス処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252951
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094428
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 地球温暖化ガス、大気汚染ガスなどの有害ガス、あるいはクリーンルーム等において製品の歩留まりを低下させるようなガス成分を除去する冷却放電プラズマによるガス処理方法を提供する。【解決手段】 微量有害ガス成分や公害ガス成分が含まれた処理ガス1を不平等電界を形成する電極に電圧を印加して、放電プラズマを発生させる反応器2に導入する。この際に、該反応器20を冷却部30により極低温に冷却する。そして、この極低温に冷却した電極間に処理ガス10を通して、除去すべきガス成分を液化または固化して、電気集塵機40により捕集することにより除去すべきガス成分と清浄ガスとに分離処理する。
請求項（抜粋）：
燃焼排ガス、クリーンルーム空気、室内空気などに含まれる微量有害ガス成分及び公害ガス成分の除去を行うガス処理方法において、不平等電界を形成する電極に電圧を印加して、放電プラズマを発生させると共に、電極を極低温に冷却し、該電極間に除去すべきガス成分を含むガスを通して、除去すべきガス成分を液化または固化して、電気集塵により捕集して除去すべきガス成分を分離処理することを特徴とする冷却放電プラズマによるガス処理方法。
IPC (4件)：
B01D 53/32
, B01D 53/56
, B01D 53/74
, B01D 53/62
B01D 53/32
, B01D 53/34 129 C
, B01D 53/34 135 Z
, B01D 53/34 135 A
