特許
J-GLOBAL ID：200903021200670534
ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347678
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190950
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 ガラスディスクの外周欠陥検査装置において、外周エッジ部の異なる位置に存在する各欠陥の散乱光を受光し、各欠陥の検査を可能とする。【構成】 回転するガラスディスク1の表面に対して、所定の角度、例えば、約30°の入射角θT でレーザスポットSp を投射する投光系3と、入射角に対する正反射角の方向を受光角θR として設けられ、表面欠陥の散乱光を受光する受光系4とを具備した欠陥検査装置において、受光系4を第1の受光系とし、ガラスディスク1の外周側面1c に対して垂直方向に設けられ、外周エッジ部の上側のチャンファー、またはチャンファーと外周側面とに跨って存在する外周欠陥Kの散乱光をそれぞれ受光する第2の受光系5を付加して構成される。
請求項（抜粋）：
被検査のガラスディスクを装着して回転するスピンドル機構と、このスピンドル機構により回転しているガラスディスクの表面に対して、所定の入射角でレーザスポットを投射する投光系、および、前記入射角に対する正反射角の方向を受光角とし前記表面の欠陥の散乱光を受光する受光系とを具備した欠陥検査装置において、前記受光系を第1の受光系とし、前記投光系からの照射光による前記ガラスディスクの上側の周縁部、またはこの周縁部と前記外周側面とに跨って存在する外周欠陥の散乱光をそれぞれ受光する位置に設けられた第2の受光系を有することを特徴とするガラスディスクの外周欠陥検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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