特許

J-GLOBAL ID：200903021201099733

反射鏡の熱変形防止方法及び熱的変形の少ないEUV用反射鏡

発明者： マイケル ソガード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-176175
公開番号（公開出願番号）：特開2005-004145
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【解決課題】波長がEUVの領域での結像光学系は反射系により行われる が、吸収が大きい。このために大きな熱が発生し、反射鏡を変形させ、その結果結像光学系の収差が許容範囲に入らなくなる。従って、使用する光量を下げるか、露光速度を落とすか、いづれにしても歩留まりとスループットが低下する。【解決手段】反射鏡の内部にチャネルを設けて冷却流体を流して冷却し、残留変形を反射鏡の裏面から熱を加えて補償する。この時、冷却流体を乱流とし、乱流に伴う振動が反射鏡に伝わらないように、チャネル内のパイプに流体を流し、パイプとチャネルの間に熱伝達用のガスを封じると効果的である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

EUV領域の光を反射する反射鏡であって、 EUV光を反射する反射面、 該反射面の反対側の裏面、 反射鏡部材中に形成された反射鏡冷却用のチャネル、 を有し、 該チャネルは該裏面よりも該反射面により近い位置に形成されている、 ことを特徴とする反射鏡。

IPC (3件)：

G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G02B5/08 A ,  G02B5/08 F ,  G02B5/08 Z ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

Fターム (12件)：

2H042DB06 ,  2H042DB13 ,  2H042DD12 ,  2H042DE06 ,  2H042DE07 ,  2H097BA02 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046DA26 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01