特許

J-GLOBAL ID：200903021204422780

高周波誘導結合プラズマ分析計のプラズマ点火方法

発明者： 小野 昌三 ,  柿崎 義昭 ,  川那子 英樹
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019987
公開番号（公開出願番号）：特開平7-282771
出願日： 1987年02月27日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 作業が全て自動化された為、調整作業の難しさ、煩わしさがない。【構成】 高周波誘導結合プラズマ分析計のプラズマ点火方法において、この高周波発生器から高周波誘導コイルに高周波電流を流す線路に配置された位相検出器並びに電力検出器と、線路に接続された粗調整用可変コンデンサと微調整用可変コンデンサとを含むマッチングネットワークと、位相検出器の出力に基づき電流と電圧の位相差が最小となる位置にマッチングネットワークの微調整用可変コンデンサを制御するサーボ制御系と、電力検出器の出力に基づき進行波電力が最大となる位置、或は反射電力が最小となる位置に粗調整用可変コンデンサを設定する調整手段とを具備し、低い電力の下で調整手段によって粗調整用可変コンデンサを自動調整した後、調整手段により電力発生器を制御してプラズマを点火し、点火後に、粗調整用可変コンデンサを調整手段によって再調整すると共に、点火後におけるインピーダンス変化を微調整用可変コンデンサをサーボ制御系によって制御して調整することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

高周波誘導結合プラズマと分析計とを結合させてなる高周波誘導結合プラズマ分析計のプラズマ点火方法において、高周波電力発生器と、この高周波発生器から高周波誘導コイルに高周波電流を流す線路に配置された位相検出器並びに電力検出器と、前記線路に接続された粗調整用可変コンデンサと微調整用可変コンデンサとを含むマッチングネットワークと、前記位相検出器の出力に基づき電流と電圧の位相差が最小となる位置に前記マッチングネットワークの微調整用可変コンデンサを制御するサーボ制御系と、前記電力検出器の出力に基づき進行波電力が最大となる位置、或は反射電力が最小となる位置に前記粗調整用可変コンデンサを設定する調整手段とを具備し、低い電力の下で前記調整手段によって前記粗調整用可変コンデンサを自動調整した後、前記調整手段により前記電力発生器を制御してプラズマを点火し、点火後に、前記粗調整用可変コンデンサを前記調整手段によって再調整すると共に、点火後におけるインピーダンス変化を前記微調整用可変コンデンサを前記サーボ制御系によって制御して調整することを特徴とする高周波誘導結合プラズマ分析計のプラズマ点火方法。

IPC (4件)：

H01J 49/10 ,  G01N 21/73 ,  H05H 1/30 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-073900
  
• 特開昭60-205241
  
• 特開昭60-052747
  
• 特開昭58-169051