特許
J-GLOBAL ID：200903021206661367
超小型表面センサー及び表面測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079558
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182627
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 超小型の表面センサー、及び加工装置などに組み込むことが可能な超小型の表面測定装置、さらには大面積を高分解能で短時間に測定できる表面測定装置を得る。【構成】 基板12上に形成された電界放出冷陰極11と、上記基板上に絶縁物13を介して形成され、冷陰極11より電子線20を引出す引出し電極14とで構成される電子線源101、引出し電極14上に絶縁物15を介して形成され、上記電子線20を加速する加速電極102、加速電極102上に直接もしくは絶縁物16を介して形成された検出器103、及び冷陰極11と引出し電極14と加速電極102と検出器103に電気的に接続された複数の引出し線で超小型表面センサー201を構成する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された電界放出冷陰極と、上記基板上に絶縁物を介して被着及び形成され、上記冷陰極より電子線を引出す引出し電極とで構成される電子線源、上記引出し電極上に絶縁物を介して被着及び形成され、上記電子線を加速する加速電極、上記加速電極上に直接もしくは絶縁物を介して被着及び形成された検出器、及び上記冷陰極と上記引出し電極と上記加速電極と上記検出器に対し電気的に接続された複数の引出し線を備えた超小型表面センサー。
IPC (2件)：
引用特許：
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