特許
J-GLOBAL ID：200903021231528132

縦型ホール素子

発明者：
大平 聡

大平 聡 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-204585
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032396
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】当該ホール素子を含めたその周辺の電位を固定して、より高い精度での磁気検出を可能とする縦型ホール素子を提供する。【解決手段】導電型不純物の添加された(ドーピングされた)多結晶シリコンからなる導電性膜材CTを当該ホール素子の半導体基板の内部に形成し、該導電性膜材CTとコンタクトを形成する配線を介して、同基板をグランド電位に固定する。またここでは、導電性膜材CTを、同基板に形成されたトレンチT1の内部に絶縁膜IL1を介して埋設するようにして、これにより、当該半導体基板の内部に磁気検出部HP1を区画形成するようにしている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に垂直な成分を含む電流が、同半導体基板内の磁気検出部に供給されるとともに、その電流に対して発生するホール電圧を通じて前記半導体基板の表面に水平な磁界成分を検出する縦型ホール素子において、 前記半導体基板が、その内部に一乃至複数の導電層を有して且つ、当該導電層とコンタクトを形成する配線を介して任意の電位に固定されるようにした ことを特徴とする縦型ホール素子。
IPC (2件)：
H01L 43/06 ,  G01R 33/07
FI (2件)：
H01L43/06 Z ,  G01R33/06 H
Fターム (2件)：
2G017AD53 ,  2G017AD61
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開平1-251763号公報
審査官引用 (11件)
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