特許

J-GLOBAL ID：200903021233876189

アイソレータ及びそこからの生成物取出方法

発明者： 辻本 広行 ,  井上 義之
出願人/特許権者： ホソカワミクロン株式会社
代理人 (1件)： 佐野 静夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-150798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-327873
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 アイソレータを加工の場として活用するとともに、そこから安全に生成物を取り出すことにつき提案を行う。【解決手段】 アイソレータ1のチャンバ2内に加工装置10を収納する。加工装置10からの生成物は容器12で受ける。容器12はハッチ30から取り出す。ハッチ30に外部容器40を連結し、この外部容器40に容器12を入れ、ハッチ30も外部容器40も閉塞して外部容器40をハッチ30から取り外すことにより、生成物を安全にチャンバ2から出すことができる。チャンバ2内にスプリンクラータイプの洗浄ノズル21もしくは手持ちの洗浄ガン23、またはその両方を配備することにより、チャンバ2内の生成物滞留と予期せぬ漏洩を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

次の構成要素を含むアイソレータ:(a)チャンバ。(b)前記チャンバ内に収納された加工装置。(c)前記加工装置からの生成物を受ける容器。(d)前記容器を取り出すため、前記チャンバに設けたハッチ。

IPC (2件)：

B01L 1/00 ,  F24F 7/06

FI (2件)：

B01L 1/00 D ,  F24F 7/06 C

Fターム (3件)：

3L058BE02 ,  3L058BF00 ,  4G057AA09