特許

J-GLOBAL ID：200903021239749995

光情報記録媒体の反射膜膜厚測定方法及び膜厚測定器それによる光情報記録媒体

発明者： 三浦 裕司 ,  阿萬 康知 ,  柴田 清人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 武井 秀彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-342307
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146875
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 光ディスク反射層の膜厚測定に関し、測定精度の高い蛍光X線膜厚測定法及び蛍光X線膜厚計、それに用いる強度差フィルター、さらにはこれらによる品質の高い光ディスクを提供すること。【解決手段】 光学的手段による記録または再生を行なう情報記録媒体を、同記録媒体にX線を照射した際に放射される蛍光X線によって反射層の膜厚を測定する方法であって、一次X線源と測定されるべき前記光学的情報記録媒体との光路間に、次式(1)で示されるX線波長λorgよりも長い波長域にK吸収端を持つ材料からなる強度差フィルターを挿入することを特徴とする光学的情報記録媒体の膜厚測定方法。【数1】λorg=λ0-0.0486×sin2θ 〔Å〕 式(1)λ0:被検元素の特性X線波長θ:X線散乱角の1/2

請求項（抜粋）：

光学的手段による記録または再生を行なう情報記録媒体を、同記録媒体にX線を照射した際に放射される蛍光X線によって反射層の膜厚を測定する方法であって、一次X線源と測定されるべき前記光学的情報記録媒体との光路間に、次式(1)で示されるX線波長λorgよりも長い波長域にK吸収端を持つ材料からなる強度差フィルターを挿入することを特徴とする光学的情報記録媒体の膜厚測定方法。【数1】 λorg=λ0-0.0486×sin2θ 〔Å〕 式(1)λ0:被検元素の特性X線波長θ:X線散乱角の1/2

IPC (2件)：

G01N 23/223 ,  G01B 15/02

FI (2件)：

G01N 23/223 ,  G01B 15/02 D

Fターム (27件)：

2F067AA27 ,  2F067BB18 ,  2F067CC13 ,  2F067DD04 ,  2F067EE03 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK01 ,  2F067KK08 ,  2F067LL02 ,  2F067MM04 ,  2F067UU02 ,  2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA03 ,  2G001EA06 ,  2G001EA09 ,  2G001EA20 ,  2G001GA01 ,  2G001KA11 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA12 ,  2G001NA17 ,  2G001SA02