特許
J-GLOBAL ID：200903021243331482
分析試料保持装置および試料分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298107
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 装置の機械精度に依存することなく、試料の走査により、その検出データから迅速に且つ確実に試料の位置を判別できる試料分析装置における試料保持装置および試料分析方法を提供する。【解決手段】 入射ビームを照射してXY方向に走査可能な試料保持基体(基板2)の表面に分析すべき試料を保持し、入射ビームが照射された試料を光学的に検出する分析装置における試料保持装置であって、前記試料の保持部に隙間14が形成された試料位置判別用パターン13をこの基体(基板2)の表面に形成した。
請求項（抜粋）：
入射ビームを照射してXY方向に走査可能な試料保持基体の表面に分析すべき試料を保持し、入射ビームが照射された試料を光学的に検出する分析装置における試料保持装置であって、前記試料の保持部に隙間が形成された試料位置判別用パターンを前記基体表面に形成したことを特徴とする分析試料保持装置。
Fターム (25件)：
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001AA07
, 2G001BA04
, 2G001BA14
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA03
, 2G001GA01
, 2G001GA05
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001KA01
, 2G001MA02
, 2G001NA08
, 2G001PA07
, 2G001QA01
, 2G001QA10
, 2G001RA10
, 2G001SA01
, 2G001SA10
