特許

J-GLOBAL ID：200903021248064199

高磁歪軟磁性合金膜

発明者： 井原 慶太 ,  榊間 博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 武田 元敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049757
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247602
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】 高磁歪を有し、かつ良好な軟質磁気特性を示すセンサー用高磁歪軟磁性合金膜を提供する。【構成】 本発明の高磁歪軟磁性合金膜は、膜中の平均組成が式FeaCobMcNd で示され、前記式の組成において、Feは鉄,Coはコバルト、MはジルコニウムZr,ニオブNb,タンタルTa,チタンTi,ハフニウムHf,ホウ素Bおよびケイ素Siよりなる群から一種類以上選択された金属元素、Nは窒素であって、a,b,c,dは原子%を表し、それぞれ 32≦a≦76,5≦b≦50,60≦a+b≦92,3≦c≦20,3≦d≦25,a+b+c+d=100 である窒化合金膜である。

請求項（抜粋）：

膜中の平均組成が式 FeaCobMcNd で示され、前記式の組成において、Feは鉄,Coはコバルト、MはジルコニウムZr,ニオブNb,タンタルTa,チタンTi,ハフニウムHf,ホウ素Bおよびケイ素Siよりなる群から一種類以上選択された金属元素、Nは窒素であって、a,b,c,dは原子%を表し、それぞれ 32≦a≦76,5≦b≦50,60≦a+b≦92,3≦c≦20,3≦d≦25,a+b+c+d=100 であることを特徴とする高磁歪軟磁性合金膜。

IPC (4件)：

C22C 38/00 303 ,  C23C 14/14 ,  H01F 10/16 ,  H01F 41/18