特許
J-GLOBAL ID:200903021249324364

真空配管系の排水バルブ及び排液構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 正澄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-045302
公開番号(公開出願番号):特開平7-251374
出願日: 1994年03月16日
公開日(公表日): 1995年10月03日
要約:
【要約】【目的】 従来の如き排水バルブを不要とし、ロータリジョイントへの液状異物の侵入を低減し摺動部の摩耗低減やロータリジョイントの真空リークを防止した真空配管系の排水バルブ及び排液構造を提供すること。【構成】 真空吸引手段が接続された真空配管系の配管に介装されるドレンポットの下部に設けられ、ドレンポット下部の排水口を開閉する真空配管系の排水バルブであって、前記排水バルブが、真空吸引手段の非真空吸引時には互いの間に隙間が形成されてドレンポットの排水口を開き、真空吸引手段の真空吸引時には互いに面接してドレンポットの排水口を閉止する二枚の薄板により形成された構成である。又、排水バルブを有するドレンポットが、静止した真空配管系に介装された構成である。更に、排水バルブを有するドレンポットが、回転又は移動する吸着部や可動部に一体に取付けられた構成である。
請求項(抜粋):
真空吸引手段が接続された真空配管系に介装されるドレンポットの下部に設けられ、このドレンポットの下部の排水口を開閉する真空配管系の排水バルブであって、前記排水バルブが、前記真空吸引手段による非真空吸引時には、互いの間に隙間が形成されて前記ドレンポットの排水口を開く一方、前記真空吸引手段による真空吸引時には、互いに面接して前記ドレンポットの排水口を閉止する二枚の薄板により形成されたことを特徴とする真空配管系の排水バルブ。
IPC (7件):
B24B 57/00 ,  B25J 15/06 ,  F16L 55/07 ,  F16T 1/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/306 ,  B23Q 3/08

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