特許

J-GLOBAL ID：200903021251024530

露光装置の光量測定装置及び該測定装置を備えた校正装置

発明者： 岩橋 秀一郎
出願人/特許権者： ノーリツ鋼機株式会社
代理人 (1件)： 藤本 昇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-056868
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249410
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 PLZT素子アレイを具備した露光装置の校正用光量測定装置において、光電子増倍管の感度電圧を適切に調整することにより光量測定の精度を高め、ひいては露光装置の校正を精度良く行うことができる光量測定装置を提供する。【解決手段】 光量測定装置11は、露光装置3に対向配置され、光電子増倍管111と、光電子増倍管111を露光装置3のPLZT素子アレイ31に対して平行に移動させる1軸ステージ112と、光電子増倍管111の感度電圧を調整する調整器113とを備えている。光電子増倍管111は、1軸ステージ112の駆動によって、露光装置3のPLZT素子アレイ31を介する出射光量を、1つのPLZT素子311毎にBGR各色の光について順次測定する。調整器113は、前記測定によって得られた光電子増倍管111の最大出力が略飽和レベルに等しい値となるように感度電圧を設定する。

請求項（抜粋）：

光ファイバーの出射端にPLZT素子のアレイを具備し、該素子アレイからBGR各色の光を出射する露光装置の光量測定装置であって、前記露光装置に対向配置され、該露光装置の出射光を前記PLZT素子毎に検出し得るように構成されてなる光電子増倍管と、該光電子増倍管及び前記露光装置のいずれか一方を前記PLZT素子アレイに略平行に走査させる駆動機構と、前記光電子増倍管の感度電圧を調整する調整器とを備え、前記光電子増倍管は、前記駆動機構の駆動によって、前記PLZT素子アレイからの出射光量を、1つのPLZT素子毎にBGR各色の光について順次測定し、前記調整器は、前記測定によって得られた前記光電子増倍管の最大出力が略飽和レベルに等しい値となるように、前記感度電圧を設定することを特徴とする光量測定装置。

IPC (6件)：

G03B 27/32 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/44 ,  G03B 27/72 ,  H04N 1/23 103

FI (6件)：

G03B 27/32 G ,  G01J 1/02 D ,  G01J 1/04 D ,  G01J 1/44 H ,  G03B 27/72 Z ,  H04N 1/23 103 Z

Fターム (24件)：

2G065AA04 ,  2G065AA08 ,  2G065AB04 ,  2G065BA18 ,  2G065BB02 ,  2G065BB32 ,  2G065BB39 ,  2G065BB49 ,  2G065BC19 ,  2G065DA01 ,  2H106BA55 ,  2H106BH00 ,  2H110CD16 ,  2H110CD18 ,  2H110CE14 ,  5C074AA07 ,  5C074BB05 ,  5C074CC26 ,  5C074DD03 ,  5C074DD22 ,  5C074EE01 ,  5C074FF15 ,  5C074GG05 ,  5C074HH02