特許
J-GLOBAL ID：200903021259118290
位置ずれ検出装置およびその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331691
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223732
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェハの位置を効率よく正確に検出し、ウェハ移載動作を適切に補正する装置および方法を提供する。【解決手段】 R-θロボット1は、ロボットコントローラ8の指示に従ってウェハ2をチャンバ3、4間で移送する。光センサ6および7は、R-θロボット1が所定の状態に制止しているときにそのR-θロボット1のハンド上に静止しているウェハ2のエッジ位置を2カ所検出する。ロボットコントローラ8は、上記2つのエッジ位置からウェハ2の弦の長さおよびその中心位置を求める。このデータとR-θロボット1のハンド上の基準位置にウェハ2が載せられていたときに得られるの弦の長さとその中心位置のデータと比較し、基準位置に対する移載ウェハの位置ずれを検出する。ロボットコントローラ8は、検出した位置ずれを補正するようにR-θロボット1の動作を制御する。
請求項（抜粋）：
ウェハの位置ずれを検出する装置であって、所定の位置に設けられ、その所定の位置に対して静止しているウェハの弦の長さとその弦の中心位置を光学的測定を利用して求める検出手段と、上記ウェハが予め決められている基準位置にあるときの上記検出手段の出力データを保持しておく保持手段と、上記ウェハが所望の測定位置にあるときの上記検出手段の出力データおよび上記保持手段に保持してあるデータに基づいて、上記ウェハが上記基準位置からどの程度ずれているのかを算出する算出手段と、を有する位置ずれ検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 43/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 F
, B65G 43/08 F
, B65G 49/07 Z
