特許
J-GLOBAL ID：200903021262043064
薄膜光電変換素子の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081505
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297426
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】搬送された可撓性基板が開口端を密閉して形成する下部成膜室を解放して行うメンテナンス作業を容易にする。また、基板が成膜室開口端に密着するように上部成膜室開口端の端面と下部成膜室開口端の端面の平行度を調整することを容易にする。【構成】下部成膜室を上下に移動できる支持体で支持し、さらにその支持体を台車構造などにして横方向に移動できるようにして、メンテナンススペースへ容易に引き出せるようにする。また、上部成膜室を回転軸の周りに揺動可能に支持することにより、両開口端端面の平行度が容易に出るようにする。
請求項（抜粋）：
搬送されてくる可撓性基板を成膜室のそれぞれ函状の壁体を有する二つの部分の開口側の間に停止させ、基板を成膜室の両部分の壁体の開口側端面間にはさみ、成膜室の一方の部分と基板とにより囲まれた成膜空間を真空にし、空間内の電極に電圧を印加して成膜するものにおいて、成膜室の前記一方の部分が、上下への移動をさせる駆動部を備え、基板通過部分の下方から横方向へ移動可能の支持体上に支持されたことを特徴とする薄膜光電変換素子の製造装置。
IPC (2件)：
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