特許
J-GLOBAL ID：200903021264739805

研削装置におけるチャックテーブルの修正方法および修正装置

発明者：
保田 真治

保田 真治 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-354962
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】 複数個のチャックテーブルの高さを短時間で均一に修正することができる研削装置におけるチャックテーブルの修正方法および修正装置を提供する。【解決手段】 各チャックテーブルの高さを計測し、計測値のうち一番低い値を基準値とする。そして、基準値を設定したチャックテーブル以外のチャックテーブルの表面を、その高さを計測しながら基準値に達するまで研削ユニットによって研削する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する複数個のチャックテーブルと、該複数個のチャックテーブルを配設し各チャックテーブルを所定の研削位置に位置付けるターンテーブルと、該研削位置に配設され該チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削ホイールを備えた研削ユニットと、を具備する研削装置における該各チャックテーブルの高さを揃えるためのチャックテーブル修正方法であって、該各チャックテーブルの高さを計測する高さ計測工程と、該高さ計測工程によって得られた計測値のうち、一番低い値を基準値とする基準値設定工程と、該基準値を設定したチャックテーブル以外のチャックテーブルの表面を、その高さを計測しながら該基準値に達するまで該研削ユニットによって研削する研削工程と、を含む、ことを特徴とする研削装置におけるチャックテーブルの修正方法。
IPC (2件)：
B24B 49/00 ,  B24B 41/06
FI (2件)：
B24B 49/00 ,  B24B 41/06 L
Fターム (8件)：
3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB73 ,  3C034BB87 ,  3C034CA13 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • チャックテーブル
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-278551   出願人：花王株式会社
  • 研削工具の製作方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-054486   出願人：株式会社アイ・エヌ・アール研究所

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