特許

J-GLOBAL ID：200903021265569563

基板温度制御装置

発明者： 佐藤 孝幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126466
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289200
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、基板温度制御装置において、基板面に対する処理結果を基板全面に亘つて均一化し得るようにする。【解決手段】基板面を同一温度のときの処理結果が異なる複数領域に領域分けして設定した第1の領域と第2の領域との間に任意の温度差を与える。これにより、基板全面がほぼ均一に処理される。

請求項（抜粋）：

基板の温度を制御する基板温度制御装置において、上記基板を複数領域に領域分けして設定した第1の領域と、当該領域分けして設定した第2の領域との間に任意の温度差を与えるように温度制御することを特徴とする基板温度制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

H01L 21/302 B ,  C23F 4/00 A ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205