特許

J-GLOBAL ID：200903021269312176

透明基板の傷検査装置

発明者： 早川 辰雄 ,  鈴木 博 ,  原 浩幸
出願人/特許権者： ジーフォース株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102559
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288063
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】 水晶ブランクなどの透明基板全体が影になり、基板の傷だけが反射光で浮かび上がるように光を照射して、確実に傷を認識できるようにする。【解決手段】 水晶ブランク21の傷検査装置は、光の照射された水晶ブランク21を撮像手段26で撮像し、撮像した画像信号から水晶ブランク21に存在する傷の特徴を抽出し、抽出した信号に基づいて傷の存在判定を行う。水平方向に配置した水晶ブランク21の外周をリングライト22で取り囲む。リングライト22からの光を拡散板23で散乱光とし、これをブランク21の表面に対して±30°の範囲内の照射角度θで照射して、水晶ブランク21を散乱光で包み込むようにする。水晶ブランク21の真上に配置した撮像手段26で、強調された傷の像を撮像する。

請求項（抜粋）：

光の照射された透明基板を撮像手段で撮像し、撮像した画像信号から透明基板に存在する傷の特徴を抽出し、抽出した信号に基づいて傷の存在判定を行う透明基板の傷検査装置において、透明基板の基板面に対して±30°の範囲内の照射角度で透明基板の側面全周方向から光を照射する照明手段と、照明手段から透明基板に照射される光を拡散させて散乱光を透明基板に照射する拡散板と、透明基板の基板面に対して撮像方向が垂直な位置に配置された撮像手段とを備えたことを特徴とする透明基板の傷検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01N 21/88 D ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 J