特許
J-GLOBAL ID：200903021271883130
レリーフ型回折光学素子製造用型
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-284756
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114963
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 高効率のレリーフ型回折光学素子を容易に製造できるレリーフ型回折光学素子製造用型を提供する。【解決手段】 表面に複数のゾーンを有する所望のレリーフ型回折光学素子を製造するのに用いる型5において、所望のレリーフ型回折光学素子のレリーフ断面形状を反転させたレリーフパターンの各ゾーンの谷部に空気溜まり部22を設ける。
請求項（抜粋）：
表面に複数のゾーンを有する所望のレリーフ型回折光学素子を製造するのに用いる型において、前記所望のレリーフ型回折光学素子のレリーフ断面形状を反転させたレリーフパターンの各ゾーンの谷部に空気溜まり部を設けたことを特徴とするレリーフ型回折光学素子製造用型。
IPC (4件)：
B29C 33/10
, B29C 33/38
, B29D 11/00
, G02B 5/18
B29C 33/10
, B29C 33/38
, B29D 11/00
, G02B 5/18
