感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性樹脂積層体

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-080585
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280180
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】現像残りがなく高感度、高解像度を有し、基板に対する密着性が良好で、かつ耐エッチング性に優れ、さらに希アルカリ水溶液を用いて現像可能で、アルカリ水溶液による剥離において剥離片形状が細片となる感光性樹脂組成物および感光性樹脂積層体とその製造方法を提供する。【解決手段】少なくともバインダー樹脂(A)、重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)及び有機カルボン酸無水物(D)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物とする。またこの感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂積層体(ドライフィルムレジスト)を製造する。

請求項（抜粋）：

少なくともバインダー樹脂(A)、重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)及び有機カルボン酸無水物(D)を含む感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物の感光硬化後形成被膜について、厚さが10〜40μmのときにおいて強アルカリ水溶液に2分以内の浸漬により10mm角以下の樹脂細片となることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/004 501 , H05K 3/00

FI (2件)：

G03F 7/004 501 , H05K 3/00 F

Fターム (12件)：

2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA00 , 2H025CB43 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA40

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