特許
J-GLOBAL ID：200903021279916495
圧電アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055590
公開番号（公開出願番号）：特開平5-260770
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 アクチュエータの特性上劣化なく、また、アクチュエータの小型化に有利となる任意の電極どうしの結合を行う、電極構造の製造方法により、圧電アクチュエータや圧電モータの特性向上を得ることを目的とする。【構成】 圧電素子1の表面上に蒸着法による電極パターン2a〜2nを形成し、この電極パターンに電圧印加用プロープを接し、各々の電極パターンにて分極処理を行う。この後、スパッタリングにより絶縁材3を形状形成し、次に、電極接続パターン4a、4bを形状形成する。以上のプロセスにより、電極パターン2a〜2n、及び絶縁パターン3、電極接続パターン4a、4bからなる圧電素子の立体電極構造を構成した。
請求項（抜粋）：
圧電素子を金属等の弾性体に接着または固着させて、該圧電素子に設けられた複数の電極パターン間に電圧を印加することで該弾性体を変位させ、この弾性体に接触する物体を移動または回転せしめる圧電アクチュエータにおいて、平面及び任意の曲面を持つ該圧電素子の同一面上にスパッタリングまたは蒸着、塗布、印刷により複数の電極パターンを形成する工程と、各々の電極パターンに従い、分極処理を行う工程と、絶縁材をスパッタリングまたはCVD、溶射、塗布、印刷により形状形成する工程と、もしくは追加工として該絶縁材をフォトリソ・エッチングにより形状形成する工程と、各々の電極パターンを選択的に接続するための電極接続パターンをスパッタリングまたは蒸着により形状形成する工程と、もしくは追加工として該電極接続パターンをフォトリソ・エッチングにより形状形成する工程とからなる圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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