特許

J-GLOBAL ID：200903021286348435

表面弾性波素子およびその製造方法

発明者： 倉増 敬三郎 ,  佐々木 厚 ,  高山 了一 ,  岡田 隆史
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298321
公開番号（公開出願番号）：特開平10-145171
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 パッケージの半田封止時や封止後の蓋から落下する金属くずによるショート不良を防止する絶縁膜を有する表面弾性波素子とその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 インターデジタルトランスデューサ電極21が形成された圧電体基板1上にポジ型感光性樹脂を塗布した後基板の裏面から露光して現像することで電極面上にのみ絶縁膜31を形成した。または、インターデジタルトランスデューサ電極21が形成された基板上にネガ型感光性樹脂を塗布し基板の裏面から露光し現像を行い、電極表面上のみ露出させてからスパッタリング等の手法で絶縁膜31を形成し、その後感光性樹脂を除去することで電極面上のみに絶縁膜31を形成した。さらに、この絶縁膜31をエッチングすることで所望の周波数に調整することにより解決した。

請求項（抜粋）：

圧電体基板と、この圧電体基板上に設けた櫛形形状のインターデジタルトランスデューサ電極および外部接続電極と、少なくともこのインターデジタルトランスデューサ電極膜上に絶縁膜が形成され、かつ、インターデジタルトランスデューサ電極の電極間の圧電体基板面上には絶縁膜が形成されない構造を有してなる表面弾性波素子。

IPC (3件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭52-058341
  
• 弾性表面波フイルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-173790   出願人：沖電気工業株式会社
• 特開平3-286613
  
• 特開昭62-005644
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭52-058341
  
• 弾性表面波フイルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-173790   出願人：沖電気工業株式会社
• 特開平3-286613
  
• 特開昭62-005644