炭化物の分析装置および分析方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003059
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189656
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、種々の環境下においても、高感度で分析試料中の炭素の定量を行うことができる装置を提供することを目的とする。【解決手段】パルス発生器1と、分析試料にレーザ光を照射する手段50と、分析試料に不活性ガスを噴出する手段60と、第2集光レンズ9と、分光器に入力した信号を分析するマルチチャンネルアナライザ12およびコンピュータ13とからなり、レーザ光を照射する手段は、レーザ光を生成するレーザ2と、プリズム6と、第1集光レンズ7からなり、不活性ガスを噴出する手段は、パルスドライバ3と、不活性ガスを一定時間噴出させるパルスノズル5からなり、パルス発生器はレーザ2にTTL信号を出力するとともに、パルスノズルを制御するパルスドライバ3にTTL信号を出力することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(A)パルス発生器(1)と、(B)分析試料(8)にレーザ光を照射する手段(50)と、(C)分析試料(8)に不活性ガス(4)を噴出する手段(60)と、(D)前記レーザ光の照射により発生した分析試料の炭素原子の発光スペクトルを集光し、光ファイバ(10)を介して分光器(11)に出射する第2集光レンズ(9)と、(E)前記分光器(11)に入力した信号を分析するマルチチャンネルアナライザ(12)およびコンピュータ(13)とからなり、(F)前記レーザ光を照射する手段(50)は、レーザ光を生成するレーザ(2)と、前記レーザ光を入射し第1集光レンズ(7)に出射するプリズム(6)と、入射したレーザ光を分析試料に集光する第1集光レンズ(7)からなり、(G)前記不活性ガスを噴出する手段(60)は、パルスドライバ(3)と、不活性ガス(4)を一定時間噴出させるパルスノズル(5)からなり、(F)前記パルス発生器(1)はレーザ(2)にTTL信号(トランジスタ・トランジスタ・ロジック信号)を出力するとともに、パルスノズル(5)を制御するパルスドライバ(3)にTTL信号を出力することを特徴とする炭化物の分析装置。

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