特許
J-GLOBAL ID:200903021288534716
ガラス基板搬送用ボックス
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
大石 征郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-304668
公開番号(公開出願番号):特開平7-132986
出願日: 1993年11月09日
公開日(公表日): 1995年05月23日
要約:
【要約】【目的】 取り扱い性、搬送性、ガラス基板の保護性にすぐれ、しかも従来に比し格段に小さいコストで製造できるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。【構成】 ボックスの少なくとも本体部(1) が発泡倍率3〜30倍の樹脂発泡体(殊にポリオレフィン系発泡体)で構成され、かつ本体部(1) 内面の相対向する1対の面がガラス基板支持用の溝(4) に形成されているガラス基板搬送用ボックスである。本体部(1) の内面の表面が壁内部よりも緻密なスキン構造に形成されていることが望ましい。導電性ポリマーや帯電防止性物質を含有した発泡体とすることもできる。
請求項(抜粋):
ボックスの少なくとも本体部(1) が発泡倍率3〜30倍の樹脂発泡体で構成され、かつ本体部(1) 内面の相対向する1対の面がガラス基板支持用の溝(4) に形成されているガラス基板搬送用ボックス。
IPC (4件):
B65D 85/48
, B65D 81/133
, B65D 85/00
, H01L 21/68
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭58-019548
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精密ガラスの透明搬送用容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-340792
出願人:三井東圧化学株式会社
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