特許
J-GLOBAL ID：200903021289037163
被検査物の窪み検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198936
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018906
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】[目的] 被検査物の上面の窪みを確実にかつ自動的に検出できる窪み検出方法を提供すること。[構成] リードパターン11の上面を、該リードパターン11の外周囲を取り巻いて前記上面に対して30°程度の俯角で光束を出射する照明装置12により照明し、前記照明装置12の照明領域内における前記リードパターン11からの反射光を撮像カメラ15により撮影し、この撮影画像をA-Dコンバータ17、比較回路20,22および画像演算回路23,24により処理することによってリードパターン11の上面の窪みの有無を自動的に判定する。
請求項（抜粋）：
被検査物の上面を、該被検査物の外周囲を取り巻いて前記上面に対して所定角度で光束を出射する照明装置により照明し、前記照明装置の照明領域内における前記被検査物からの反射光を撮像手段により撮影して撮影画像を得、前記撮影画像を画像処理手段により処理することによって被検査物上面の窪みの有無を判定するようにした、ことを特徴とする被検査物の窪み検出方法。
IPC (5件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, H01L 21/60 321
