特許

J-GLOBAL ID：200903021289285833

真空乾燥装置及び真空乾燥方法

発明者： 土屋 武司
出願人/特許権者： 東静電気株式会社
代理人 (1件)： 津久井 照保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289832
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120143
出願日： 1993年10月27日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 溶剤により洗浄した工業部品を効率良くかつ安全に乾燥する。【構成】 格納容器2内に工業部品を格納し、格納容器2に設けた加熱槽3により格納容器2の底部及び側壁を加熱すると共に、送風管4から格納容器2内に熱風を吹き込んで、工業部品を加熱する。そして、格納容器2に連通接続した排気管10内に導かれた溶剤ガスを冷却装置11で冷却して凝縮回収するとともに、溶剤ガスを回収後の排気は大気開放管12から大気中に排出する。次に、格納容器2の熱風加熱を停止するとともに排気管10の大気連通状態を解除し、排気管10に連通接続した真空発生装置13で格納容器2内を減圧し、格納容器2内に残存した溶剤を気化蒸発させるとともに、冷却装置で溶剤ガスを凝縮回収する。

請求項（抜粋）：

水系または非水系の溶剤により洗浄した被乾燥物を真空乾燥する真空乾燥装置であって、開閉可能な蓋部材を設けて被乾燥物を内部に格納するとともに、下部に加熱槽を設けた格納容器と、格納容器に第1開閉弁を介して連通接続し、加熱された空気を格納容器内に送風する送風管と、加熱槽に循環させる難燃性オイルを加熱するオイル加熱器と、オイルをオイル加熱器の出口側から加熱槽の入口側に供給するとともに、加熱槽の出口側からオイル加熱器の入口側にオイルを戻すオイル循環路と、オイル循環路にオイルを循環させるオイル循環ポンプと、格納容器に連通接続して、格納容器内で蒸発気化した溶剤ガスを排出する排気管と、排気管に連通接続して、排気管内の溶剤ガスを冷却し凝縮回収する冷却装置と、冷却装置の下流側の排気管から分岐されて、第2開閉弁を有する大気開放管と、排気管の先端側に第3開閉弁を介して連通接続されて、格納容器内を減圧する真空発生装置と、からなることを特徴とする真空乾燥装置。