特許

J-GLOBAL ID：200903021294400985

荷電粒子ビーム装置

発明者： 大西 毅
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107050
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302704
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】調整作業中の作業者の視点移動を極力少なくし、作業性を向上させる。【解決手段】調整レベルの設定を顕微鏡画像上でのマウスドラッグ操作により行い、調整項目の選択状態を選択可能な調整項目と一対一に対応したマウスカーソルアイコンにより表示する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを加速・集束して試料上を走査する手段、上記荷電子ビームの照射によって上記試料から発生する二次粒子を上記走査と同期して検出し、画像メモリに蓄積してコンピュータの画面にウインドウ形式で表示する顕微鏡像表示手段、良好な画像を得るために、焦点,非点,コントラスト,ブライトネス,ビーム軸アライメント,倍率等をリアルタイムで調整する手段からなる装置において、上記調整項目の選択手段、上記顕微鏡像上でのマウスカーソル移動により調整のレベル設定を行う手段、マウスカーソルアイコンを上記選択可能な調整項目と一対一に対応させたものに変更して表示し、顕微鏡画面内から視点を移動することなしに現在の調整項目の確認ができるようにするカーソルアイコンの変更表示手段を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (6件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/256

FI (7件)：

H01J 37/22 502 E ,  H01J 37/22 502 D ,  H01J 37/22 502 F ,  H01J 37/04 B ,  H01J 37/153 B ,  H01J 37/21 B ,  H01J 37/256