特許
J-GLOBAL ID：200903021295929467
振動型加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332524
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160421
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 質量部が上下方向に変位するのを規制し、検出方向に加わる加速度のみを、ブリッジで高精度に検出する。【構成】 センサ本体23はシリコン基板24をエッチング処理することにより、質量部25を4本の梁部28で支持体27に支持し、質量部25と支持体27との間の溝26を跨ぐようにブリッジ30,30を設ける。各ブリッジ30の振動部30Aは外部の発振回路により常時共振周波数の固有振動され、質量部25に矢示a方向の加速度が加わると、各ブリッジ30の共振周波数が一方では低く他方では高くなる。これにより、質量部25の検出(X軸)方向に加わる加速度を正確に検出する。
請求項（抜粋）：
質量部と、該質量部の周囲に隙間を介して設けられた支持体と、前記質量部と支持体との間を跨ぐように水平の検出方向に少なくとも1個形成されたブリッジと、該ブリッジに所定周波数を印加することにより、該ブリッジの上下方向に固有振動を与える振動発生手段と、前記質量部に加わる検出方向の加速度を、前記ブリッジの固有振動の変化として検出する検出手段とからなる振動型加速度センサにおいて、前記質量部と支持体とをシリコン板により一体形成し、該シリコン板には前記質量部を支持体に連結し、前記質量部が支持体に対して上下方向に変位するのを抑える梁部を形成したことを特徴とする振動型加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/10
, G01C 19/56
, G01P 15/14
