特許

J-GLOBAL ID：200903021296509305

混合液供給装置

発明者： 堀江 邦明 ,  鈴木 秀直 ,  荒木 裕二 ,  村上 武司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-358237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-192682
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】 可動部や摺動部を有する部材を使用することなく、複数の液体を低流量であっても充分に混合して次工程に供給できるようにした混合液供給装置を提供する。【解決手段】 複数の貯液タンク2a,2b,2cと、複数の貯液タンクの各液体原料1a,1b,1cを所定の配分比で送液する送液手段11a,11b,11c,12,13a,13b,13cと、送液手段からの液体原料を受けて混合する混合室10とを有し、混合室の上部には、各送液手段にそれぞれ連通する複数の供給管15a,15b,15cが開口して設けられている。

請求項（抜粋）：

複数の貯液タンクと、該複数の貯液タンクの各液体原料を所定の配分比で送液する送液手段と、該送液手段からの液体原料を受けて混合する混合室とを有し、前記混合室の上部には、前記各送液手段にそれぞれ連通する複数の供給管が開口して設けられていることを特徴とする混合液供給装置。

IPC (3件)：

B01F 15/02 ,  B01F 3/08 ,  C23C 16/40

FI (3件)：

B01F 15/02 A ,  B01F 3/08 ,  C23C 16/40