特許

J-GLOBAL ID：200903021323283349

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 三宅 裕子 ,  中澤 明 ,  児玉 淳 ,  北川 博紀 ,  三田 剛
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321758
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171966
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】 本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関し、焼成時の不純物の拡散により圧電体の圧電性が劣化しにくい方法の提供を目的とする。【構成】 高温安定基板上に圧電材料を印刷し、これを加熱、焼成して圧電体4を高温安定基板2上に形成するステップと、圧力室6及びノズル10を有するヘッド基板14上に共通電極16を形成するステップと、圧電体4を圧力室6の位置に対応させて共通電極16上に貼り付けるステップと、高温安定基板2を剥離するステップとから構成する。

請求項（抜粋）：

圧電体を焼成する温度に耐える耐熱性を有する材料からなる高温安定基板(2) 上に第1の圧電材料を印刷し、該第1の圧電材料を加熱、焼成して上記圧電体(4) を上記高温安定基板(2) 上に形成する第1のステップと、圧力室(6) 及びノズル(10)を有するヘッド基板(14)の上記圧力室の側の表面上に共通電極(16)を形成する第2のステップと、上記高温安定基板(2) 上に形成された上記圧電体(4) を上記圧力室(6) の位置に対応させて上記共通電極(16)上に貼り付ける第3のステップと、上記共通電極(16)上に貼り付けられた上記圧電体(4) から上記高温安定基板(2) を剥離する第4のステップとを備えたインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A