露光装置および露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-041912
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237744
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】カラーレジストを使用する際にも、アライメントが容易にできる露光装置および露光方法を提供する。【解決手段】アライメント系3の光源に光波長範囲の広い光源31を用い、半導体ウェハ21に塗布されたカラーレジストの光透過率特性の透過率の大きい波長光を透過するバンドパス光学フィルタを、光学フィルタ交換器50から選択して、アライメント光の光路に挿入した後、アライメントを行う。【効果】カラーレジストを使用する際にも、精度のよいアライメントが可能となる。

請求項（抜粋）：

アライメント系を有する露光装置において、前記アライメント系の光源を広い波長範囲をもつ光源とし、前記光源からのアライメント光の光路にバンドパス光学フィルタを設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 5/20 , G03F 9/00 , H01L 27/14

FI (7件)：

H01L 21/30 525 F , G02B 5/20 , G03F 9/00 H , H01L 21/30 514 D , H01L 21/30 515 C , H01L 21/30 516 B , H01L 27/14 D

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