特許

J-GLOBAL ID：200903021324346352

微粒子センサに於けるレーザーの漂遊光を低減させる方法及び装置

発明者： ピーター・ジー・ボーデン ,  ジェイムス・ビー・ストルツ
出願人/特許権者： ハイ・イールド・テクノロジー・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-186354
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029320
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、暗視野微粒子モニタに於ける、漂遊光による微粒子数カウントのエラーを低減する方法及び装置を提供する。【構成】 本発明の、微粒子モニタ内の漂遊光による微粒子数カウントのエラーを低減する暗視野微粒子モニタは、微粒子を検知するためのレーザービーム上にその焦点を有する光学素子と、優先位の入射方向で入射した光を選択するためのフィルタとを有する。実施例の1つに於いては、前記フィルタには、レーザービームの波長の光に対して最も高い透過性を有する狭帯域フィルタを用いる。

請求項（抜粋）：

微粒子によって散乱させられたレーザービームの散乱光を検出する微粒子モニタに於ける、漂遊光によるエラーを低減する方法であって、前記レーザービームの前記散乱光を集光するべくレンズを配置する過程であって、前記レンズを、その焦点が前記レーザービーム上にあり、前記レーザービームの散乱光が前記レンズから平行光線となって出てくるように配置する、該過程と、優先位の入射角で前記平行光線をフィルタリングするべく、前記優先位で最大の透過性を有するフィルタを配置する過程と、前記フィルタリングされた平行光線を受け取る検出器を配置する過程とを有することを特徴とする、微粒子モニタに於ける漂遊光によるエラーを低減する方法。