特許
J-GLOBAL ID：200903021329051539
ディスペンサの駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-343912
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】 液状物を所定の位置に定量だけ確実に転写させ、転写不良の生じることを無くする。【構成】 待機位置?@にあるシリンジニードル4aを、その先端が液状物の供給面に近接した吐出位置?Aまで下降させ、この吐出位置?Aでディスペンサを駆動して液状物を所定の吐出量だけシリンジニードル4aから吐出させる。吐出後にシリンジニードル4aを吐出位置?Aから所定量だけ上方にある中間位置?Bまで上昇させ、この中間位置で液状物の糸引きの太さが十分に細くなるまで静止させる。その後でシリンジニードル4aを中間位置?Bから待機位置?Cまで復帰させる。
請求項（抜粋）：
シリンジニードルにより基板等の供給面に液状物を供給するディスペンサの駆動方法において、待機位置にあるシリンジニードルを、その先端が上記液状物の供給面に近接した吐出位置まで下降させ、上記吐出位置で上記ディスペンサを駆動して上記液状物を所定の吐出量だけ上記シリンジニードルから吐出させ、吐出後に上記シリンジニードルを上記吐出位置から所定量だけ上方にある中間位置まで上昇させ、上記中間位置で上記液状物の糸引きの太さが十分に細くなるまで静止させ、その後で上記シリンジニードルを上記中間位置から上記待機位置まで復帰させることを特徴とするディスペンサの駆動方法。
IPC (3件)：
B05C 5/00 101
, H01L 21/56
, H05K 3/34 504
