特許
J-GLOBAL ID：200903021330721530
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-091053
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062073
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、感知素子2 を含み、ダイアフラム4 で密閉された容器1 で構成された液体の充填された測定セルを備えている圧力センサで、外部のガスがダイアフラム4 を透過して容器1 内に侵入することにより大気圧より高い圧力および大気圧より低い圧力の測定を妨害することを阻止し、100°C以上の温度においても正確な測定ができるように圧力センサを改良することを目的とする。【構成】 外部のガスがダイアフラム4 を透過することを阻止するためにダイアフラムは拡散障壁層5 を具備していることを特徴とする。拡散障壁層5 はダイアフラム4 の表面に形成されたアルミニウム、スチール等の金属またはプラスチックの被覆層である。またこのような拡散障壁層5 を形成する代りに、或いは拡散障壁層の形成に加えて容器1 内に充填された圧力伝達媒体としてガスの分子をほとんど吸収しないれる液体を使用することもできる。
請求項（抜粋）：
感知素子を含み、ダイアフラムで密閉された容器で構成されている液体を充填された測定セルを具備している圧力センサにおいて、ダイアフラムは拡散障壁層を具備していることを特徴とする液体またはガス状媒体の圧力を測定する圧力センサ。
IPC (2件)：
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