特許

J-GLOBAL ID：200903021336404285

体積・表面抵抗率測定装置

発明者： 高橋 秀行
出願人/特許権者： 横河・ヒューレット・パッカード株式会社
代理人 (1件)： 久保田 千賀志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072340
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232166
出願日： 1992年02月22日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 試料に与える圧力の設定値を変更することなしに、かつ試料を傷つけることなしに上蓋部の取付けや取外しをワンタッチで行い、また固定電極の交換を簡単に行う。【構成】 上蓋部1の取付け,取外しの際には、ガイド手段(13,15)により、上蓋部1は垂直方向に移動し、該上蓋部1は基台2に所定高さで係合する。したがって、圧力調整機構6による設定を解除することなく、上蓋部1を基台2に取り付け、または基台2から取り外しても、可動電極5の平面は固定電極14上の試料に平面状態を維持したまま押圧するので、試料が傷つくことはない。また、固定電極は、絶縁物を介して該固定電極中央部一か所において基台に螺合されているので、該電極の交換は容易となる。このとき、絶縁物は導体によりシールドされているので、分極による測定精度の劣化が生じることはない。

請求項（抜粋）：

上蓋部に支持された可動電極と、基台に固定された固定電極との間に試料を介在させ、圧力調整機構により試料を所定圧力で挟圧するとともに両電極間に測定電圧を印加し、試料を流れる電流を測定することで該試料の体積・表面抵抗率を測定する体積・表面抵抗測定装置において、上蓋部の、基台面に対する垂直移動をガイドする手段と、該上蓋部を基台に係合する手段と、を有してなることを特徴とする体積・表面抵抗率測定装置。

IPC (2件)：

G01R 27/08 ,  G12B 9/00