パワー・レーザー・システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-512292
公開番号（公開出願番号）：特表平8-505006
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】レーザー・システムは、そのハウジング内に間隔を置いて配置された陰極及び陽極と、電圧パルスが陰極陽極間の電気放電を発生する場合にイオン化され化学的に反応するガスとを有している。流動する空気によって、電圧パルスを発生するための部品(キャパシター、サイラトロン、及びトリガー回路)を冷却する。レーザー・ガスの温度は、電気放電の有無にかかわらず、特定の値に連続的に制御されている。チェンバー内のガスの一つの濃度が、ガスの化学反応における適正エネルギーを与えるための適正な値の対局にある値に交互になるように制御されている。ガスは一対のモーターによって運転されるシャフト上のファンによって再循環され、再循環中にろ過される。シャフト速度は特定の値に制御され、モーター電流は等価となるように制御されている。高電圧端末を保持している隔離室内で生成されたオゾンは、中性ガス(窒素)を隔離室を通すことによって大気中へパージされる。中性ガスは、他の電気部品に対して絶縁された高電圧ワイヤを保持しているホースを通じてハウジングへと通される。ワイヤの一端でのカラーの配置は、カラーからハウジングにカップルしたホースを持つサイラトロンの陽極へ電圧を導入するために供与され、ハウジングから外れたワイヤを持つカラーを接地している。異なる高電圧部品は、シークエンスに従って、本発明に特有のシステムと方法によって、その運転性が試験される。

請求項（抜粋）：

1.均等な構造を持つハウジング、ハウジング内に間隔を置いて配置された陽極と陰極を持つレーザー、ハウジング内の領域を加熱するためにハウジングによって支持される加熱手段、陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間の電気放電の度にイオン化し化学反応するチェンバー内のガス、ハウジング内のガスを冷却するためにハウジング内に配置された熱交換器、連続的な特定の値にハウジング内の温度を制御するための手段、並びに陽極と陰極間の電気放電に伴うハウジング内の温度の付随的な制御をするための手段から構成される装置。2.温度を制御するための手段が、ハウジング内のガスを冷却するため、チェンバーを通して水を流通させるためのハウジング内に配置された手段を持ち、ガス温度を特定の値に制御するためのハウジングを加熱する加熱手段及びハウジングを冷却する手段を持ち、熱伝導性と耐腐食性を持つ金属で作られ、均等な構造を持つハウジングからなる、請求項1記載の装置。3.耐腐食性を持ちハウジング内に熱を伝導する特性を持つ材料で作られたハウジング、ハウジング内に間隔を置いて配置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を一定間隔で発生するための陽極と陰極に関連した第一の手段、ハウジングを冷却するためにハウジングを通して液体を通過させるようにハウジング内に設置された第二の手段、ハウジングによって支持されハウジング内に延びているハウジング内の温度を決定するためのプローブ、ハウジング内のガス温度を特定の値に連続的に制御するためのプローブ温度に応答する第三の手段、並びに電気放電の結果として発生する熱を補償するためのハウジング内のガス温度を冷却するために備えられた、陽極と陰極間のそれぞれの電気放電に応答する第四の手段から構成される装置。4.第四の手段が陽極と陰極間のそれぞれの電気放電に伴い、陽極と陰極間の電気放電の程度に応じて第二の手段を通じて液体を通過させるために操作され、ハウジングが金属から作られ、第一の手段がハウジングを冷却するためにハウジングを通して水を通過させ、加熱手段がハウジング外部からハウジングを支えるような、請求項3記載の装置。5.ハウジングが均等な構造を持ち、ハウジング内に陽極と陰極を配置し、陽極と陰極間に電気放電を発生した場合にハウジング内にイオン化し化学反応するガスがあり、一定間隔で陽極と陰極間に電気放電を発生し、ハウジング内のガス温度を特定の値に連続的に制御し、陽極と陰極間の電気放電に伴いハウジング内のガス温度を付随的に制御する以上のステップからなるレーザー内の温度制御の方法。6.ハウジング外部からハウジングに加熱装置を配置し、ハウジング内のガスを冷却するためにハウジングを通して水を通過させ、ハウジング内のガス温度を随時測定するためにハウジング内に延びたハウジング上のプローブを支持する等のステップからなる、陽極と陰極電気放電の程度に応じてハウジング内の温度を付随的に制御する、請求項5記載の方法。7.耐腐食特性のハウジング、ハウジング内に配置された陽極と陰極、一定間隔で陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間の電気放電に伴いイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ガスを清浄にするためのガスを再循環させ、それぞれの循環後ガスをハウジングに再導入するための手段、実質的に同一の特性を持つ一対のモーターと更にその一対のモーターによって共通に運転されるファンと、ファンを回転するための電気を供給するモーターを含む再循環手段、更に、ファンの回転速度を特定の値に制御しモーターの電流を制御するためのファンの回転速度とモーターの電流に応答する手段を含む再循環手段からなる、レーザーにおける組み合わせ。8.ファンの回転速度を特定の値に制御する一方で実質的に等しい値にモーターの電流を維持するために運転される制御手段、一対のモーターと共通のシャフトを持つファン、陽極と陰極間の電気放電をモーターの運転による影響から守るためのそれぞれのモーターに関連する手段、共通シャフトのモーターに対する衝撃や振動を最小限にするためのそれぞれのモーターに関連する手段、ハウジング内のガス温度を特定の値に制御する手段からなる請求項14記載の組み合わせ。9.耐腐食性を持つ材料で作られたハウジング、ハウジング内に間隔を置いて配置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間に電気放電に伴いイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ハウジング内のガス温度を特定の値に連続的に制御する手段、陽極と陰極間に電気放電の発生と程度に応じてハウジング内のガス温度を付随的に制御する手段、一対のモーターと共通のシャフト上にある最低1つのファンを含むハウジング内のガスを再循環するための手段、ファンを運転するための電気を供給するモーター、ガスを再循環させる間ハウジング内のガスを濾過するための手段、特定の速度でのファンの運転について両者のモーターから実質的に均等に貢献するためにモーター速度とモーターを通過する電流を制御するための手段からなる装置。10.ハウジング内のプローブとハウジングへ延びたハウジングが支持する加熱器、及びハウジングを冷却するためにハウジングを通じて液体を再循環させる手段を含む温度制御手段、金属で作られたハウジング、モーター速度とモーターを通過する電流を表すインジケーターを受容し、モーター速度を特定の値にしモーターを通過する電流を実質的に同一値に制御するための速度と電流のインジケーターによって運転するための速度制御手段、並びに陽極と陰極間に電気放電の発生に伴い、そのような電気放電の大きさに応じてハウジングを通じて液体の循環を最大させる手段を含めた温度制御手段からなる請求項9記載の装置。11.ハウジング、ハウジング内に間隔を置いて配置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間に電気放電によってイオン化し、イオン化の後に化学反応するハウジング内のガス、並びにガスのイオン化とガス間の化学反応の適正な効率を得るためにハウジング内のガスの少なくとも1つの濃度を制御する手段からなる装置。12.更に、ハウジング内で特定の値に温度を維持するための手段、及びハウジング内でガスを再循環し循環中にガスを濾過する手段を含み、陽極と陰極間に電気放電に伴うガス間の化学反応から得られるエネルギー測定の手段を含む制御手段、更に少なくとも1つのガスがそれぞれの化学反応において適正なエネルギーを生成するまで増量しながらハウジングに導入し、その後、短時間のうちに化学反応のエネルギーが適正値から減少し始めるまで、少なくとも1つのガスを増量しながら導入するための手段を含む制御手段、並びに、ハウジング内で少なくとも1つのガスが特定の値を持つ場合、電気放電に伴いガス間の化学反応から適正なエネルギーを発生する特性を持つガス、少なくとも1つのガスの濃度がハウジング内の特定の値よりやや大きくなるまで、少なくとも1つのガスをハウジング内に導入し、少なくとも1つのガスの濃度がハウジング内の特定の値よりやや小さくなるまで、少なくとも1つのガスをハウジング内に入れないように運転される制御手段を持ち、フッ化クリプトンを生成するための化学反応を得るためにハウジング内のガスがクリプトンとフッ素であり、制御手段がフッ素の濃度を実質的に特定な濃度に制御するように運転される、請求項11記載の装置。13.耐腐食性を持つハウジング、ハウジング内に間隔を置いて設置された陽極と陰極、一定間隔で陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間に電気放電によってイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ハウジング内のガスの1つの濃度を特定の値にした場合それぞれの化学反応に対して適正なエネルギーを供給する特性を持つガス、ハウジング内のガスの少なくとも1つの濃度をそれぞれの化学反応のエネルギー量に応じて特定の値に制御する手段、陽極と陰極間に電気放電の発生に伴いハウジング内で付随的にガス温度を制御する手段からなる装置。14.それぞれの化学反応のエネルギー量が減少し始めるまで少なくとも1つのガスをハウジングに導入し、それぞれの化学反応のエネルギー量が減少し始めるまで少なくとも1つのガスのハウジングへの導入を妨げる手段を含む濃度制御手段、ハウジングが封じられ熱伝導性を持つ単一の材料で作られており、ハウジング内の温度を測定するためにハウジングによって支持されハウジング内に延びたプローブと、更にハウジングによってハウジングの外部から支持されるハウジング内のガスを加熱する手段と、ハウジングを通してハウジング内のガスを冷却するための液体に通過させるためにハウジング内に配置された手段、またハウジング内のガスを再循環するための手段、その再循環中にガスを濾過するための手段を含む温度制御手段からなる、請求項13記載の組み合わせ。15.耐腐食特性を持つハウジング、互いに間隔を置いてハウジング内に配置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生する手段、陽極と陰極間に電気放電の発生に伴い、イオン化し化学反応するハウジング内のガス、ハウジング内の少なくとも1つのガスの濃度を化学反応によって生成されたエネルギーに応じて特定の値に制御する手段からなる装置。16.ハウジング内の1つのガスが特定濃度である場合に適正エネルギーを生成する特性を持つガス、ハウジング内の少なくとも1つのガスの濃度が化学反応の適正なエネルギーを生成し、その後に化学反応の適正なエネルギーの減少を発生するまでハウジング内に少なくとも1つのガスを導入するためと、ハウジング内の少なくとも1つのガスの濃度が化学反応の適正なエネルギーを生成し、その後に化学反応の適正なエネルギーの減少を発生するまでハウジング内に少なくとも1つのガスの導入を妨げるための制御手段、一対のモーターで、それぞれが電流を発生するためとその電流に対応して運転力を発生するために運転され、さらに少なくとも1つのファンがそれらのモーターによって共通に回転運転され、更に、モーターがファンの回転を特定速度で行い、実質的に両者のモーターに等価の電流を得るためにモーターの運転を制御する手段を含み、また更に、ハウジング内のガス温度を特定の値に連続的に制御する手段、並びに、陽極と陰極間の電気放電の発生に伴い電気放電の程度に応じてハウジング内の温度を制御する手段を含む、請求項15記載の組み合わせ。17.更に、ハウジング外部からハウジングによって支持される加熱器、ハウジング内に設置されている、ハウジング内のガスを冷却するハウジングを通して液体を通過させるための手段、ハウジング外部からハウジングによって支持されるプローブ、均質で熱伝導性の材料で作られたハウジング、陽極と陰極間に電気放電の発生に伴い、電気放電のエネルギーに応じてガス温度を制御するための液体手段を含む手段を含む、請求項16記載の組み合わせ。18.ハウジング、間隔を置いて配置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生するために陽極と陰極間に電圧パルスをかける手段、陽極と陰極間に電気放電の結果イオン化し化学反応するように陽極と陰極間に置かれたガス、電圧パルス手段冷却のため電気パルス手段に液体を流通させる手段、電圧パルス手段を通過した液体の移動の後に液体を冷却するために液体を再循環する手段、並びに液体の再循環中に液体を冷却する手段からなる装置。19.冷却液の一部をトリガーとなる手段を通過させる手段、及び冷却液のその他の一部をトリガーとなる手段の運転のための手段を通過させる手段を含み、この時電圧パルス手段は少なくとも1つのキャパシターを含み、少なくとも1つのキャパシターの放電を起こすトリガーとなる手段、更に、トリガーとなる手段の運転のために与えられる少なくとも1つのキャパシターの荷電に応答する手段を含み、電圧パルス手段のための冷却する手段が冷却液をキャパシターに流通させる手段、トリガーとなる手段及びトリガーとなる手段を運転するための手段を含み、誘電体材料で作られサイラトロンを包み込むチムニー、冷却液の一部をサイラトロンと誘電体のチムニー間に流通させる手段、トリガーとなる手段の運転のための手段に含まれる回路基板、並びに、冷却液の他の部分を回路基板に流通させる手段を含む、請求項18記載の装置。20.ハウジング、互いに間隔を置いてハウジング内に配置された陰極と陽極、陽極と陰極間に電気放電を発生するために一定間隔で陽極と陰極間に電圧パルスを発生する手段、電気放電の結果としてイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ハウジングを通してガスを再循環する手段、ガスの再循環中にガスを濾過するための手段、冷却液をパルスを発生させる手段に通過させるための手段、少なくとも1つのキャパシター、キャパシターの放電のトリガーとなる手段、及びトリガーとなる手段の運転をするための手段を含むパルスを発生させる手段、冷却液を再循環させる手段、並びに、冷却液の再循環中に冷却液を冷却するための手段からなる装置。21.更に、少なくとも1つのキャパシターに液体の流れを通過させるための手段、液体を少なくとも1つのキャパシターを通過させた後にその液体の一部をトリガーとなる手段を通過させる際、トリガーとなる手段を絶縁するためのトリガーとなる手段と共に運転される、トリガーとなる手段に関連している手段、トリガーとなる手段を通過した流れを他の液体の部分と分岐し、トリガーとなる手段の運転のための手段を通過した液体の他の部分を流通させるための手段、トリガーとなる手段を通過した液体の最初の部分を通過させるための手段、トリガーとなる手段の運転のための手段を通過して液体の他の一部を通過させるための手段、回路基板上に設置されているトリガーとなる手段を運転するための手段、並びに、回路基板を通過した液体の他の部分を導くために運転される他の液体の流れを通過させるための手段からなる、請求項20記載の装置。22.ハウジング、ハウジング内に間隔を置いて設置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生するために陽極と陰極間に一定間隔で電圧パルスを導入する手段、陽極と陰極間の電気放電の結果としてイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ガスをイオン化し化学反応させた結果適正なエネルギーを得るためにハウジング内の少なくとも1つのガスの濃度を制御する手段、ガスを再循環する手段、ガスの再循環中にガスを濾過する手段、電圧パルス手段を冷却するために電圧パルス手段に液体を通過させる手段、冷却液が電圧パルス手段を通過した後に冷却液を再循環する手段、並びに、液体の再循環中に液体を冷却する手段からなる装置。23.少なくとも1つのガスが特定濃度に達した場合にイオン化と化学反応によって適正量のエネルギーを生成するガス、ハウジング内の少なくとも1つのガスの濃度がイオン化と化学反応によって適正量のエネルギーを生成する濃度以上になるまで少なくとも1つのガスをハウジング内に導入するためと、それ以降はイオン化と化学反応によって適正量のエネルギーを生成する濃度以下になるまでハウジング内に少なくとも1つのガスを導入することを妨げるための手段を含むガスの濃度を制御する手段、少なくとも1つのキャパシターを持つ電圧パルス手段、少なくとも1つのキャパシターを放電させる手段とトリガーとなる手段の運転のための手段、及びキャパシターを冷却するためにキャパシターに液体を通過させ、トリガーとなる手段を冷却するために液体の一部をトリガーとなる手段を通過させ、トリガーとなる手段の運転のための手段の冷却のためにこの手段を通過させるために液体を移動する手段、更に、イオン化と化学反応のエネルギー量を測定する手段を含む、請求項22記載の装置。24.フィラメントとサイラトロンを包み込む誘電体のチムニーを持つサイラトロンを含むトリガーとなる手段、サイラトロンとチムニー間に液体の一部を通過させるチャージ手段のための冷却手段、液体の他の部分をチムニーの外部及びチムニーを通過させるトリガーとなる手段の冷却用の手段、更に、電流をサイラトロンのフィラメントに通過させる手段、また、サイラトロンのフィラメント用の電流手段を冷却するために液体の他の部分を通過させる、トリガーとなる手段を冷却する手段を含む、請求項23記載の装置。25.熱伝導性を持つハウジング、ハウジング内に間隔を置いて設置されている陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生するために陽極と陰極間に電圧パルスを発生する手段、陽極と陰極間に電気放電を発生に伴ってイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ガスを再循環するための手段、ガスの再循環中にガスを濾過する手段、ハウジングの外部でハウジング上で支持されている加熱器、ハウジング内のガスを冷却するためにハウジングに配置されている手段、加熱器と冷却手段を選択的に運転することによってハウジングの温度を特定の値に連続的に制御する手段、ハウジングの電気放電に応じてハウジング内のガス温度を更に制御する手段、並びに、電圧パルス手段を冷却するために電圧パルス手段に冷却液を通過させる手段からなる装置。26.少なくとも1つのキャパシターと少なくとも1つのキャパシターのトリガーとなる手段及びトリガーとなる手段の運転を与える手段を含む電圧パルス手段、少なくとも1つのキャパシターに冷却液を通過させる手段とその液体の一部をトリガーとなる手段に通過させる手段及びトリガーとなる手段の運転のための手段にその液体の他の部分を通過させる手段を含めた電圧パルス手段を冷却する手段、サイラトロンとサイラトロンの中のフィラメントを含むキャパシター放電の手段、サイラトロンのフィラメントを加熱するための電源を含む電圧パルス手段、サイラトロンのフィラメントのための電源が液体の一部の移動する通路に配置され、更に冷却液を再循環するための手段を含み、また、再循環中に冷却液を冷却する手段からなる、請求項25記載の装置。27.ハウジング、ハウジング内に間隔を置いて設置された陽極と陰極、陽極と陰極間に電気放電を発生するために陽極と陰極間に電圧パルスを発生する手段、電気放電の発生に伴いイオン化し化学反応するハウジング内のガス、ハウジング内のガスを再循環するための手段、電圧パルス手段を冷却するために電圧パルス手段を通過した液体を移動するための手段、冷却液を再循環するための手段、並びに、再循環中に冷却液を冷却するための手段からなる装置。28.一対のモーター、ファン、及びファンとモーターがとりつけられているシャフトを持つガスを再循環させる手段、更に、シャフトを特定速度で回転させモーターを実質的に等価の励起状態にする手段、ハウジング内のイオン化と化学反応で生成するエネルギー量がガスの1つが特定の濃度に達した時に発生し、更に交互に、特定濃度より高い濃度に達するまでハウジングに1つのガスを導入し、特定濃度より低くなるまでガスを消費するための手段を含む、請求項27記載の装置。29.ハウジング、ハウジング内に設置された陽極、ハウジング内で陽極に対して距離を置いて設置されている陰極、陽極と陰極間の電気放電を得るために陰極に電圧をかける手段、ハウジング内の隔離室内に配置された電圧手段、隔離室内に配置され電圧手段に対して絶縁され配置されている誘電性手段、電圧手段は隔離室内の電圧手段によって供給される電圧のために隔離室内にオゾンを発生する傾向があり、オゾンを隔離室から取り除くために不活性ガスを隔離室にパージする手段からなる装置。30.不活性ガスを隔離室を通じて大気中に排気するために循環させ・・・

IPC (5件)：

H01S 3/225 , H01S 3/03 , H01S 3/038 , H01S 3/04 , H01S 3/134

FI (4件)：

H01S 3/223 E , H01S 3/04 , H01S 3/03 B , H01S 3/03 Z

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