特許
J-GLOBAL ID：200903021337686195
マスク交換装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134666
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005692
出願日： 1985年04月01日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 マスク1a〜1dを高速度に交換可能であると共に、露光位置に高精度に設定することのできるマスク交換装置を提供すること。【構成】 並列的に並べて保持した複数のマスク1a〜1dを露光位置に対して搬送する搬送機構10と、前記搬送機構で搬送されたマスクの一つが装着され、装着されたマスクを前記露光位置で位置決めるために移動するマスクステージ2を有する。
請求項（抜粋）：
並列的に並べて保持した複数のマスクを露光位置に対して搬送する搬送機構と、前記搬送機構で搬送されたマスクの一つが装着され、装着されたマスクを前記露光位置で位置決めるために移動するマスクステージを有することを特徴とするマスク交換装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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