特許

J-GLOBAL ID：200903021340754444

ステージ装置、走査型露光装置及び露光方法

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267092
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168063
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】 ステージの小型・軽量化を図る。【解決手段】 Y軸方向については、その方向のステージWSTの位置を干渉計76Yにより直接計測し、X軸方向については、異なる方向からステージWSTの位置を計測する第1、第3の干渉計76X1、76X2の計測値に基づいて演算によりステージWSTの位置を求める。これにより、第1ないし第3の反射面60a、60b、60cを三角形状に配置することにより、ステージWSTとして三角形状のものを使用することが可能となるので、従来の矩形のステージに比べてステージを小型・軽量化することができる。特に、走査方向に助走距離を必要とする走査型露光装置の基板ステージとして好適である。

請求項（抜粋）：

基板を保持して2次元平面内を移動する第1可動体と;前記第1可動体に設けられ、前記2次元平面内で所定の第1軸及びこれに直交する第2軸と交差する方向に沿って延びる第1反射面と;前記第1反射面に垂直に測長ビームを照射してその反射光を受光することにより前記第1可動体の第3軸方向の位置を計測する第1の干渉計と;前記第1の干渉計の計測値に基づいて前記第1可動体の前記第1軸及び第2軸で規定される直交座標系上の位置座標を演算する演算装置とを備えるステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68 ,  G02F 1/13 101

FI (7件)：

H01L 21/30 515 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 520 A