特許
J-GLOBAL ID：200903021356961270
面発光素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-005731
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199796
出願日： 1996年01月17日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 高価な測定機器を用いずに、簡単かつ低コストで波長が精密に制御された面発光素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 活性層14を含む中間層上に波長制御層16を形成し、反射分光測定などにより得られた設計値とのズレを打ち消すように熱処理を施す。ここで、波長制御層16は熱処理温度に応じて屈折率が変化する。したがって、設計値における屈折率である最適屈折率を求め、その最適屈折率になるように熱処理温度を決定して、その熱処理温度で熱処理を行うことにより、面発光素子の波長を設計値の波長へと制御することができる。
請求項（抜粋）：
第1導電型の半導体基板と、該第1導電型の半導体基板上に形成された第1の多層反射膜と、該第1の多層反射膜の上方に設けられた活性層を含む中間層と、該中間層の情報に設けられた第2の多層反射膜とを有しており、半導体基板に垂直な方向に光を放射する面発光素子において、前記第1の多層反射膜と前記中間層との間、及び前記中間層と前記第2の多層反射膜との間の少なくとも一方に前記中間層の材料と格子定数が整合する材料からなる波長制御層を具備しており、熱処理により該波長制御層の屈折率を変化させたことにより波長が制御されたことを特徴とする面発光素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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