特許

J-GLOBAL ID：200903021357153916

マスタスタンパ及びその製造方法

発明者： 植野 文章
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018364
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215529
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 情報記録媒体の製造においてエッチングした原盤を用いる場合、スタンパの所望のパターンのエッジが変形するという問題を解決する。【解決手段】 原盤表面に柔らかな導電性被膜を形成し、その後ニッケル電鋳を行って前記導電性被膜上に電鋳層を形成し、電鋳層を原盤から剥離した後、前記導電性被膜を除去する。原盤からマスタスタンパを剥離する際に、柔らかな導電性被膜のみが変形する。変形した導電性被膜を除去してから用いるので、スタンパの所望のパターンのエッジの変形の無くなり、良好な品質の高密度な光ディスク基板を製造するとができる。

請求項（抜粋）：

シリコンまたは石英基板からなる原盤の表面に柔らかな導電性被膜を形成する工程と、ニッケル等の金属の電鋳を行って前記導電性被膜上に電鋳層を形成する工程と、前記電鋳層を前記原盤から剥離したあと前記導電性被膜を除去する工程とを含むことを特徴とするマスタスタンパの製造方法。

Fターム (9件)：

5D121CA03 ,  5D121CB06 ,  5D121CB07 ,  5D121CB08 ,  5D121CB09 ,  5D121GG01 ,  5D121GG16 ,  5D121GG20 ,  5D121GG28