特許

J-GLOBAL ID：200903021357879747

ウェーハ研磨装置

発明者： 梶原 治郎 ,  細木 寛二 ,  飯塚 和男 ,  藤本 憲司 ,  足立 仁
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218372
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052239
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】 キャリアを保持する係止部がヘッド本体の上方に突出することがなく、ヘッド本体の上方に工具操作に必要な空間を十分に確保することができて、容易に工具を回転操作することができるウェーハ研磨装置の提供。【解決手段】 キャリア38と係脱する係止部60が、そのキャリア38との係合位置および離脱位置において、ヘッド本体32の上面から突出しないように構成することにより、キャリア38を保持する係止部60がヘッド本体32の上方に突出することがなく、ヘッド本体32の上方に工具操作に必要な空間が十分に確保される。

請求項（抜粋）：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハの一面を保持して上記研磨パッドにウェーハの他面を当接させる1または2以上のウェーハ保持ヘッドとを具備し、これらのウェーハ保持ヘッドと上記プラテンとの相対運動により上記研磨パッドでウェーハ他面を研磨するウェーハ研磨装置であって、上記ウェーハ保持ヘッドは、ヘッド本体の内側にリテーナリングがその軸線に沿って移動自在に設けられ、かつこのリテーナリングの内側に上記研磨すべきウェーハの一面を保持するキャリアがその軸線に沿って移動自在に設けられてなり、上記ヘッド本体に、上記キャリアと係脱する係止部が、このヘッド本体を上下に挿通して設けられ、かつ上記係止部の、上記キャリアとの係合位置および離脱位置において、この係止部の上端が、少なくとも上記ヘッド本体の上面から突出しないように構成されたことを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058CB04 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17