特許

J-GLOBAL ID：200903021365379630

光情報記録媒体製造装置及び光情報記録媒体

発明者： 横山 暁久
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-186165
公開番号（公開出願番号）：特開2003-006950
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】【課題】 反射膜の剥離防止及び反射膜の経時変化による劣化(酸化)を確実に防止できる光情報記録媒体を提供する。【解決手段】 ピット列を螺旋状に形成した基板表面3aに反射膜5、保護膜6を順次積層し、反射膜5の厚さは基板3の外周縁端部3bに近づくにつれて徐々に薄くなり、外周縁端部3bに至ると反射膜5の厚さが略ゼロとなり、また基板3の外周部3c上には直接、保護膜6を形成した。

請求項（抜粋）：

ピット列を螺旋状に形成した基板表面に反射膜、保護膜を順次積層してなる再生専用型の光情報記録媒体を製造するか、又は、グルーブを螺旋状に形成した前記基板表面に記録膜、前記反射膜、前記保護膜を順次積層してなる記録型の光情報記録媒体を製造するか、又は、前記ピット列を螺旋状に形成した前記基板表面に前記反射膜と前記保護膜とを順次積層してなる再生専用領域と、前記グルーブを螺旋状に形成した前記基板表面に前記記録膜と前記反射膜と前記保護膜とを順次積層してなる記録領域とを、半径方向に領域分割してなる再生専用記録複合型の光情報記録媒体を製造する光情報記録媒体製造装置において、真空中で行なうスパッタリングにより前記反射膜を前記基板表面又は前記記録膜上に成膜する成膜手段は、スパッタリング用ターゲットと、所定間隔をもって前記スパッタリング用ターゲットに対向し、かつ前記基板を保持する基板ホルダと、前記スパッタリング用ターゲットと前記基板ホルダとの間に配置しかつ開口部とマスク部とを有することにより、前記スパッタリング用ターゲットから飛来するスパッタ粒子を用いて前記基板表面又は前記記録膜上にのみ前記反射膜を成膜するためのマスクとを備え、前記開口部は、前記基板ホルダ上に保持した前記基板表面又は前記記録膜上を露出する開口であり、前記マスク部は、前記開口部に近接して設けられかつ前記基板の外周縁に当接する部分を面取りしたテーパ面を備えており、前記テーパ面を前記基板の外周縁全体に接触して前記基板の外側面全体を前記開口部側から覆うことにより前記開口部側から前記基板の外側面側へ飛来する前記スパッタ粒子の進入を阻止することを特徴とする光情報記録媒体製造装置。

IPC (4件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 ,  G11B 7/24 522 ,  G11B 7/24 538

FI (4件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 N ,  G11B 7/24 522 J ,  G11B 7/24 538 F

Fターム (15件)：

4K029AA11 ,  4K029BA23 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029HA01 ,  5D029JB09 ,  5D029MA14 ,  5D121AA04 ,  5D121AA05 ,  5D121EE03 ,  5D121EE20 ,  5D121EE22