特許

J-GLOBAL ID：200903021366385510

デバイス製造装置

発明者： 鈴木 大介
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199960
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028327
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置を効率良く生産運用できるように、要求された製品ロットを装置へ実際に投入する処理順序と装置へ投入するタイミングのスケジュール設定を自動で制御可能にする。【解決手段】 オペレータから要求された製品のロット処理要求をスプールして、装置の運転を制御するバッチ処理装置において、要求された製品ロット毎の優先度判定と処理時間予測とを実施し、優先度の高いロットから順に、あらかじめ設定された目標時間や製造装置から要求されるメンテナンス時間の予約情報を考慮して、最適となるようにロット処理順序の並び替えと装置ヘの処理開始タイミング制御を自動でスケジュールする。

請求項（抜粋）：

オペレータより連続した製品ロット処理要求を受け付けてバッファリングする手段と、バッファリングされたロット処理要求に応じたロット処理を逐次実行する製造手段と、各ロット処理に費やす時間を事前に算出する手段と、ロット処理の優先度を判定する手段と、指定された条件に従って、バッファ内部のロット処理要求の順序の並び替えと処理開始の時間変更を行なうスケジュール手段とを有することを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 503 G ,  G03F 7/20 521

Fターム (3件)：

5F046AA28 ,  5F046DD02 ,  5F046DD06