特許
J-GLOBAL ID:200903021375225533
インクジェットヘッドの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-003793
公開番号(公開出願番号):特開2002-205410
出願日: 2001年01月11日
公開日(公表日): 2002年07月23日
要約:
【要約】【課題】 圧電体素子の内部電極に対応した位置に、正確に圧力室を形成でき、内部電極の位置ずれによって製品の歩留まりが低下しないインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッド1の製造工程は、圧力室13に対応する圧電体素子11の振動面に電着用電極11bを形成した後、電着法により電着用電極の周囲に電着レジスト51を形成するレジスト形成工程と、レジスト形成後、該電着レジストが形成された圧電体素子の振動面にメッキ処理を行い、電着レジスト及び電着レジスト上のメッキ膜、を除去する側壁部形成工程と、メンブレンプレート20に、側壁部形成工程により形成された圧電プレート10と、オリフィスプレート30と、ガードプレート40とを、接合するプレート接合工程と、からなる。
請求項(抜粋):
側壁部を含む複数の面によって形成された複数の圧力室の一面を圧電体素子の振動面にて構成し、この圧電体素子を振動させることにより、前記圧力室内のインクの圧力を制御して、前記圧力室に連続するノズルから外部に前記インクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記側壁部として、前記圧電体素子において、前記圧力室に対向する振動面に部分的に電着用電極を形成した後、電着法により前記電着用電極の表面に電着レジストを形成する第一工程と、該電着レジストが形成された前記圧電体素子の振動面にメッキ処理を行った後、前記電着レジストを除去する第二工程と、により、前記圧電体素子の前記振動面に前記電着レジストにより規制されて整形されたメッキ膜を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
Fターム (12件):
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG48
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057AP33
, 2C057AP51
, 2C057AP55
, 2C057AP57
, 2C057AP61
, 2C057BA03
, 2C057BA14
前のページに戻る