特許

J-GLOBAL ID：200903021378036448

走査表面磁気顕微鏡

発明者： 本多 幸雄 ,  保坂 純男 ,  二本 正昭
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212587
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059004
出願日： 1992年08月10日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 原子間力やトンネル電流を利用して試料表面の位置を正確に検出し、同一場所の試料面上の磁気抵抗の変化を検出することにより磁気情報を計測する走査磁気顕微鏡およびその類似装置を提供することにある。【構成】 強磁性尖針1を有する可撓性のカンチレバー2、前記強磁性尖針1の一端に磁気抵抗素子13を配置し、その磁気抵抗を検出する手段、前記磁気抵抗の変化を検出する手段、カンチレバー2の変位を検出する手段、カンチレバー2の変位を一定に保つように強磁性探針1の位置を制御する手段、強磁性探針1を試料3表面に沿って走査する手段、カンチレバー1の変位、磁気抵抗の変化を走査位置ごとに表示する手段とを有する構造とする。【効果】 原子間力やトンネル電流を利用して試料表面の位置を正確に検出し、同一場所の試料面上の磁気抵抗の変化を検出することにより磁気情報を計測することが出来、試料表面から一定の距離における磁気情報を検出できる。

請求項（抜粋）：

(a) 強磁性尖針を有する可撓性のカンチレバーと、(b) 前記強磁性尖針の一端に磁気抵抗素子を配置し、その磁気抵抗を検出する手段と、(c) 前記磁気抵抗の直流的、または交流的変化を検出する手段と、(d) 前記カンチレバーの変位を検出する手段と、(e) 前記強磁性探針と試料間のトンネル電流を検出する手段と、(f) 前記カンチレバーの変位、もしくはトンネル電流を一定に保つように強磁性探針の位置を制御する手段と、(g) 前記強磁性探針を試料表面に沿って走査する手段と、(h) 前記カンチレバーの変位、磁気抵抗の変化を走査位置ごとに表示する手段とを有することを特徴とする走査表面磁気顕微鏡。

IPC (6件)：

G01R 33/02 ,  G01N 27/72 ,  G01R 33/06 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12 ,  H01J 37/28