特許

J-GLOBAL ID：200903021378059731

エッチング液およびエッチング方法

発明者： 中原 聖
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-400843
公開番号（公開出願番号）：特開2005-163070
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】 アルミニウム膜またはその合金膜をエッチング残渣、エッチングムラまたはエッチング不良なく、均一にエッチングする。【解決手段】 リン酸50.0wt%以上80.0wt%以下と、硝酸0.5%wt以上10.0wt%以下と、酢酸10.0wt%以下と、フッ素系酸および塩素系酸の少なくとも一方0.1wt%以上2.0wt%以下と水とを含有するエッチング液を用いて、アルミニウム膜またはその合金膜11、またはアルミニウムまたはその合金からなる上層と高融点金属層からなる下層との積層膜をエッチングする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

アルミニウム膜またはその合金膜をエッチングするためのエッチング液において、 リン酸50.0wt%以上80.0wt%以下と、硝酸0.5%wt以上10.0wt%以下と、有機酸10.0wt%以下と、ハロゲン酸0.1wt%以上2.0wt%以下と水とを含有するエッチング液。

IPC (3件)：

C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308

FI (3件)：

C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308 F

Fターム (19件)：

4K057WA10 ,  4K057WA12 ,  4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WE07 ,  4K057WE08 ,  4K057WE12 ,  4K057WK10 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  5F043AA24 ,  5F043AA26 ,  5F043AA27 ,  5F043BB16 ,  5F043BB18 ,  5F043CC16 ,  5F043GG02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭62-211391号公報
  
• 薄膜トランジスタの製造方法及びそのエッチング液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-001405   出願人：株式会社日立製作所