特許
J-GLOBAL ID：200903021385975883
チャンバ内絶対気圧制御方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171116
公開番号（公開出願番号）：特開2001-005532
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 レーザ計測等を行うチャンバ内の気圧を、外気の変動に追従することなく常時設定圧に保持できるチャンバ内絶対気圧制御方法及びその装置を提供する。【解決手段】 レーザ計測等を行うチャンバを耐圧気密構造で形成し、その耐圧気密構造のチャンバの気圧を設定圧に保つチャンバ内絶対気圧制御方法において、チャンバ13に、外気側に設けられた加圧用ブロア27と減圧用ブロア28とを接続すると共にそのチャンバ13と両ブロワ27,28間に、加圧空気量と減圧空気量を調整する加減圧調整弁33を接続し、かつその加減圧調整弁33からチャンバ13に至る加圧空気とチャンバ13から加減圧調整弁33に至る減圧空気とを合流させて加減圧空気をチャンバに給排気し、他方チャンバ内気圧とを検出し、チャンバ内気圧が設定気圧となるよう上記加減圧調整弁33の開度を調整するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
レーザ計測等を行うチャンバを耐圧気密構造で形成し、その耐圧気密構造のチャンバの気圧を設定圧に保つチャンバ内絶対気圧制御方法において、チャンバに、外気側に設けられた加圧用ポンプと減圧用ポンプとを接続すると共にそのチャンバと両ポンプ間に、加圧空気量と減圧空気量を調整する加減圧調整弁を接続し、かつその加減圧調整弁からチャンバに至る加圧空気とチャンバから加減圧調整弁に至る減圧空気とを合流させて加減圧空気をチャンバに給排気し、他方チャンバ内気圧を検出し、チャンバ内気圧が設定気圧となるよう上記加減圧調整弁の開度を調整することを特徴とするチャンバ内絶対気圧制御方法。
FI (2件)：
G05D 16/00 D
, G05D 16/00 A
5H316AA15
, 5H316BB02
, 5H316CC08
, 5H316DD01
, 5H316DD03
, 5H316EE02
, 5H316EE09
, 5H316EE18
, 5H316EE32
, 5H316ES05
, 5H316FF01
, 5H316FF23
, 5H316GG01
, 5H316GG11
, 5H316HH04
, 5H316HH08
