特許

J-GLOBAL ID：200903021393049270

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 土屋 勝則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009018
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222559
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 熱安定性が高く、水またはアルカリ水溶液で現像でき、かつ、諸性能に優れた高信頼性ソルダマスクを形成しうる感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (a)側鎖にアミンイミド基を有するビニル系重合体、(b)末端エチレン基を1個以上有する光重合性化合物、(c)トリス(2,3-エポキシプロピル)イソシアヌレート等の1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物及び(d)活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(a)側鎖に一般式(1)で示される基を有するビニル系重合体、【化1】〔式中、R1及びR2は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、R3はアルキル基又はヒドロキシアルキル基を表す(R2とR3は結合して窒素原子とともに複素環を形成してもよい)〕(b)末端エチレン基を1個以上有する光重合性化合物(c)1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物及び(d)活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/032 501 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-167218
  
• 特開平4-118309