特許
J-GLOBAL ID：200903021399280985
多連型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-334492
公開番号（公開出願番号）：特開平8-171217
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 たとえ多連の各露光部の露光エリア幅が異なっていても、各露光パターンが近接するような形で露光し得る多連型露光装置を提供する。【構成】 各両面露光部E1,E2,E3のガラスマスク3の幅(被露光材Mの移動方向の幅:露光エリア幅)を、それぞれW1、W2、W3とすると、隣接する各両面露光部E1,E2,E3の中心位置間(露光エリア幅W1、W2、W3の中心位置間)の離間距離が、各両面露光部E1,E2,E3の露光エリア幅W1,W2,W3の合計値と、隣接する2つの両面露光部E1,E2等の露光エリア幅W1,W2等の平均値との加算値となるように各両面露光部E1,E2,E3を配置し、露光後の被露光材の移動距離は、各両面露光部E1,E2,E3の露光エリア幅W1,W2,W3の合計値とする。
請求項（抜粋）：
フープ状に巻付けられた被露光材を巻出す巻出部と、該巻出部から巻出された前記被露光材を巻取る巻取部とが複数の露光部の両側に配置され、前記巻出部と巻取部により前記被露光材を前記複数の露光部に所定量ずつ送出しながら前記被露光材の少なくとも一方の面に前記複数の露光部の各マスクのパターンを露光する多連型露光装置であって、前記複数の各露光部による1ショットの同時露光によって前記被露光材上に形成される各露光パターン同士の間隔を前記各マスクの露光エリア幅に基づき定められる所定間隔とすべく調整する露光間隔調整手段と、前記露光間隔調整手段の調整により生じた1ショットの同時露光後の前記各露光パターン間のすきま部の露光を行うべく、前記各マスクの露光エリア幅の大きさに基づいて前記被露光材の送出量を制御するすきま露光制御手段とを備え、前記被露光材上の送り方向に実質的にすきまなく露光パターンを形成するように構成したことを特徴とする多連型露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 514 B
