特許

J-GLOBAL ID：200903021402900205

露光装置

発明者： 安福 祐次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005816
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195341
出願日： 1995年01月18日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】 パルス発振方式のレーザ光源を用いた露光装置の露光時間を短縮する。【構成】 前回のレーザが発光を終えた後、前回の露光量の計測と、積算露光量、今回のチャージ電圧、今回のチャージ電圧の充電に要する時間等の計算が行なわれる。計算終了時の時間308より前にレーザに対して、チャージ指令を出しレーザに充電を開始する。レーザは発光指令306によって発光する。なお、チャージ指令303と発光指令306の時間間隔は、自由に設定できるようになっているため、チャージ電圧に応じてチャージ指令303と発光指令306の時間間隔を制御し、露光時間の短縮化を図る。

請求項（抜粋）：

レーザの発光エネルギを決める充電電圧の充電を開始させる第1信号が入力された後に、前記レーザを発光させる第2信号が入力されることにより、パルスレーザ光を発生するレーザと、前記レーザ光のエネルギを検出するエネルギ検出手段とを有し、該エネルギ検出手段によって得られた検出結果に基づいて前記レーザの次回の充電電圧を制御する露光装置において、前記第1信号と前記第2信号の入力時刻の間隔を前記充電電圧に応じて変える手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D